[뉴스] SK하이닉스, D램용 EUV 장비를 구축 한다고 발표 했습니다.
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https://www.etnews.com/20210115000129?mc=em_002_00001
SK 하이닉스가 이천공장의 신규 팹인 M16에 극자와선(EUV) 노광 장비의 설치를 시작했다고 알렸다.
여기서 10나노급 4세대(1a) D램을 양산 한다고 하네요 ㄷㄷ (삼성또한 2021년 예정 되었다고 합니다.)
업계는 빠르면 2022년 말쯤 부터 양산을 시작 할것으로 보고 있는것으로 알려져있다.
기존 불화아르곤 노광 공정보다 파장이 14분의 1짧은 13.5나노미터(nm) 파장의 euv를 활용하여 더욱 정교하고 마스크 수를 줄일수 있다고 한다.
삼성 또한 2021년 중반 대량 양산을 시작 한다고 알려져 있다고 합니다.
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