[뉴스] 기나린 기다림 끝에 Shanghai Xinyang은 마침내 ASML-1400 리소그래피 기계를 받았습니다 : 193nm 포토 레지스트

https://news.mydrivers.com/1/743/743855.htm
3월 8일,Shanghai Xinyang Semiconductor Materials Co., Ltd는 ASML-1400 리소그래피 기계 구매에 대한 최신 진행 상황을 공개 하였다. 그리고 그들은 그것에 대해 구체적으로 발표했습니다.

보도에 따르면 상하이 신양은 193nmArF 건식 포토 레지스트의 개발 및 산업화에 착수한 이후 ASML-1400 리소그래피 기계 등 핵심 장비 구매를 준비했으며, 2020년12월14일에 공개 한 리소그래피 기계는 국내에 도착할 예정이다. 2020년 말 이전으로 예정 되고 있다.

그러나 상하이 신양과 노던 집적회로 기술 혁신 센터 (결국) 유한 회사는 장비 운송 및 설치에 대한 세부 사항을 전달하고 조정하는 과정에서 우여곡절을 겪었기 때문에 노광기 장비를 선적 할 수 없었다. 

이후 양측은 구체적인 협력 내용에 대한 '협력 프레임 워크 협약'을 체결했으며, 2021년 3월 말까지 리소그래피 기계가 북부 집적 회로 현장에 진입 할 것으로 예상된다.

모든 당사자의 적극적인 협상 및 운영 끝에이 리소그래피 기계는 오늘 북경 집적 회로 기술 혁신 센터 (북경) 유한 회사 부지에 입성했으며, 향후 설치 및 디버깅 등 관련 업무를 수행 할 예정이다.

Shanghai Xinyang은 구입 한 ASML 드라이 리소그래피 장비의 원활한 배송이 193nm ArF 드라이 포토 레지스트 제품의 개발을 가속화하는 데 긍정적 인 영향을 미칠 것이며 회사의 포토 레지스트 제품의 핵심 경쟁력을 더욱 강화하고 회사의 구현을 가속화하는 데 도움이 될 것이라고 말했습니다. 회사의 위험에 저항하는 능력과 지속 가능한 개발을 향상시키기 위해.

그러나이 노광기는 여전히 설치 및 디버깅과 같은 관련 링크를 거쳐야하며, 작업 누락이나 오류가있을 경우 노광기를 장기간 사용하거나 넣을 수 없을 위험이 있습니다. 사용합니다.

또한 포토레지스트 R & D 프로젝트는 기술적 장벽이 높아서 주기가 길어 산업화에 투자하고 궁극적으로 매출 이익을 실현하는 데 일정 시간이 걸리며 비용이 많이 들며 감가 상각비 및 후속 유지 보수 비용이 어느 정도 영향을 미칠 것으로 예상됩니다. 회사의 운영결과에 따라 달라 집니다. 이에 따라 중국은 2030년까지 반도체 자급률을 달성하고 더 나아가 반도체를 미국에서 뺏어 오고자 하는 희망을 가지고 있습니다.

3月8日，上海新阳半导体材料股份有限公司发布公告，披露了关于购买ASML-1400光刻机的最新进展。

据介绍，上海新阳自立项开发193nmArF干法光刻胶的研发及产业化项目以来，安排购买了ASML-1400光刻机等核心设备，并于2020年12月14日披露，该光刻机将于2020年底前运抵国内。

不过此后，由于上海新阳与光刻机供应商、北方集成电路技术创新中心(毕竟)有限公司在沟通协调设备运输与安装等细节方面遇到波折，光刻机设备没能在规定时间内运达。

随后，双方就具体合作细节签署了《合作框架协议》，预计该光刻机将于2021年3月底前进入北方集成电路现场。

现经各方积极协商、运作，这台光刻机设备于今日已进入北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司的场地，后续将进行安装调试等相关工作。

上海新阳表示，采购的ASML干法光刻机设备顺利交付，对加快193nm ArF干法光刻胶产品开发进度有积极影响，有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力，加快落实公司发展战略，提高公司抗风险能力和可持续发展能力。

不过，这台光刻机尚须经过装机、调试等相关环节，如果出现工作疏漏或失误，则存在造成光刻机投入使用过程较长，甚至无法投入使用的风险。

另外，光刻胶研发项目技术壁垒高、周期长，投入产业化并最终实现销售利润，仍需一定时间，而且价格昂贵，其折旧及后续维护费用预计对公司的经营业绩存在一定影响。